為了改變熱陰極電離真空規(guī)的測量上限低(10ˉ1Pa)以及在較高壓力下工作時容易燒斷陰極的缺點，發(fā)展具有抗氧化能力和能在較高壓力下測量的高壓力電離真空規(guī)。這類規(guī)管主要采用涂敷氧化釔銥絲作陰極與方合式電極結(jié)構(gòu)。這類真空計的測量范圍為≥13~10ˉ? Pa。我國通用的有ZJ-10 (DL-5 )型中真空電離規(guī)管和郭元恒教授發(fā)明的DL-8型高壓力電離規(guī)管(郭氏規(guī)管100~10ˉ? Pa)，后者已在國際上生產(chǎn)和應(yīng)用。

國產(chǎn)的電離真空規(guī)管的主要情況可如表2-25所示。